外差干涉仪，也被称为双频干涉仪或交流干涉仪，是一种利用两种不同频率的单色光作为测量光束和参考光束的精密仪器。通过光电探测器的混频作用，产生差频信号，通常频率范围在100兆赫以内。这种仪器能够检测并记录被测物体因位移、振动、转动、大气扰动等因素导致的光波相位变化或多普勒频移。
工作原理
外差干涉仪的工作原理基于将被测物体的变化所引起的多普勒频移信息加载在一个稳定的高频差频上。这一特点使得光电探测过程中能够避开激光器的低频噪声和半导体器件的1/f噪声区域。此外，通过频率跟踪等外差解调技术，能够有效地过滤掉宽带噪声，从而显著提升光电信号的信噪比。这使得外差干涉仪能够在光强大幅衰减的情况下仍然保持正常工作状态，使其适用于生产现场环境，并能够测量更长的距离。
应用领域
外差干涉仪的应用非常广泛，包括但不限于测速、测长、测角、测振、测表面光洁度、测激光束通过湍流时光束的扰动、提高望远镜的视轴瞄准精度以及在自适应光学中的鉴相器等方面。在外差干涉仪的应用中，已经实现了比传统零差干涉仪更高的精度水平。
光源选择
在外差干涉仪中，两种不同频率的光束可以通过多种方法得到，包括使用两只稳频的激光器，或者利用磁光、电光、声光效应或旋转光栅盘的衍射效应来产生。
参考资料
什么是外差干涉仪.醉学网.2024-11-04
外差干涉仪简介.分析测试网.2024-11-04
外差干涉仪的应用介绍.分析测试网.2024-11-04