超纯水

超纯水（Ultrapure H₂O）简称UPW，是被净化到高规格水平的水，其纯度极高，杂质含量极低，不属于日常饮用水。 超纯水是在纯净水的基础上，将水中的导电介质，不离解的胶体物质、气体及有机物几乎完全去除。超纯水的标准是：水中仅含有 H20，以及适度数量的 H+ 和 OH- 离子。 其电阻率为 18.2 MΩ.cm、TOC \u003c 10 ppb、细菌数 \u003c 10 CFU/ml。 要归类为超纯水，水中不得含有任何可检测的内毒素。

超纯水可用于清洗和制造半导体元件，以防止微粒和痕量污染物的存在影响产品质量。电子级超纯水是半导体制造的基础性生产物料，在产品清洗和蚀刻中发挥重要作用，用量极大。超纯水的制备过程包括多种净化技术，如过滤、紫外线消解、离子交换单元等，以达到几乎去除除水分子以外的所有杂质的目的。在使用超纯水时，需要注意水质的稳定性和安全性。

制备

超纯水的制备过程是复杂且精确的。

应用

超纯水在实验室分析试验中扮演着重要的角色，因为它的纯净性质使得实验结果更加准确和可靠。在半导体行业中，超纯水用于清洗和制造半导体元件，以防止微粒和痕量污染物的存在影响产品质量。电子级超纯水是半导体制造的基础性生产物料，在产品清洗和蚀刻中发挥重要作用，用量极大。在芯片过程中,超纯水被广泛应用于清洗、蚀刻、沉积、光刻等多个关键步骤。由于芯片制造过程中使用的光刻机、蚀刻机等设备对水质要求极高,微小的颗粒或杂质都可能导致芯片缺陷,影响其性能和寿命。因此,超纯水在芯片制造过程中的作用不可或缺。

注意事项

在使用超纯水时，需要注意水质的稳定性和安全性。超纯水在储存时可能会吸收空气中的杂质，因此建议使用新鲜的超纯水，并定期进行水质检测和系统的维护。此外，为了确保系统的长期稳定运行，给水质量的预处理也非常重要，以避免杂质导致耗材过早耗尽。

参考资料

高频科技超纯水工艺，助力产业开启降本增效“芯”未来.中华网.2024-04-10

自来水、矿泉水、纯净水、超纯水……有什么区别？.百家号.2024-04-10

超纯水.ELGA.2024-04-09

高频科技推动超纯水技术发展，助力废水处理产业升级.中国网海峡频道.2024-04-09

第五届电子行业超纯水制备与污水再生利用技术研讨会圆满举办.清华大学环境学院.2024-04-09

纯化水与超纯水的制备原理.济宁学院.2024-04-09

实验室超纯水设备.SARTORIUS.2024-04-09

实验室如何制取超纯水?超纯水适和作为饮用水吗?.网易.2024-04-09