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张玉林

张玉林,男,汉族,教授、博士生导师。研究方向为计算机控制技术、微米、纳米加工及控制技术、微机电系加工控制技术、生物芯片加工技术。理论成果获省级等奖。

人物经历

1965.9-1970.7山东大学数学系学生。

1970.7-1971.11四八零七部队学生连煅练。

1971.11-2000.7山东工业大学自动化系教师。

2000.7-山东大学控制科学与工程学院教师。

全国三束学会学术委员。

山东省单片机协会副理事长。

研究方向

计算机控制技术,微米、纳米加工及控制技术,微机电系统加工控制技术,生物芯片加工新技术。

主讲课程

主讲研究生课程。

硕士研究生专业选修课:计算机接口技术。

硕士研究生专业选修课:微机电系统。

主要贡献

研究项目

1、电子束曝光工艺研究国防科工委,第1位。

2、抽油机井综合测试计算机企业委托,91年完成,第1位。

3、集成电路插座自动生产线企业委托,93年完成,第1位。

4、智能高频新电检测仪,94年完成,第2位。

5、汉字示屏研制企业委托,95年完成,第1位。

6、一种智能电度表,96年完成,第1位。

7、电阻率分析系统及熔铝质量快速检测山东省科技计划,98年完成,第1位。

8、电子束曝光机图形控制器研制中科院电工所,99年完成,第1位。

9、柴油及状态检测仪研制校产业,2001年完成,第1位。

10、鲁宁输油管线先进控制方案设计企业委托,2002年完成,第1位。

1、2004.1-2006.12,电子束光刻生成三维结构的研究,国家自然科学基金,经费28万,第1负责人。

2、2003.1-2005.12,《电子束曝光机灰度掩模的研究》,山东省科技攻关,经费5万,第1负责人。

3、2004.1-2006.12,基于电子束光刻生成三维结构的研究,山东省自然科学基金,经费4万,第1负责人。

4、2003.6-2005.6,热电厂脱硫控制系统,企业委托,经费110万,第1负责人。

5、2003.6-2004.6,纳米电子束曝光机图形控制器的研制,中科院电工所,经费12万,第1负责人。

6、2002.1-2004.12,压电超声电机的研究,山东省自然科学基金,经费3万,第3。

7、2004.1-2006.12,电子束光刻三维加工方法研究,省教委计划,经费3万,第2。

8、2004.6-2005.12,智能脉诊仪研制企业委托,经费30万,第2。

主要论著

在《电子学报》、《微细加工技术》、《微纳电子技术》、《仪器仪表学报》、《传感器技术》等刊物及国际、全国性学术会议上发表学术论文50余篇,其中被EI收录十余篇。理论成果获省级等奖二等一项,三等奖二项。

获奖情况

1、78年,SDS—1型电子束曝光机研制全国首届科学大会奖集体奖,主持人之一。

2、79年,SDS—1型电子束曝光机山东省首届科学大会奖集体奖,主持人之一。

3、79年,双光路激光精密定位系统山东省科技进步二等奖集体奖,主持人之一。

4、82年,多功能电子束曝光图形控制器山东省科技进步二等奖,第1位。

5、92年,IC插座自动组装机山东省计算机应用科优秀科技成果三等奖,第1位。

6、93年,集成电路插座自动生产线山东省科技进步三等奖,第1位。

7、93年9月,开始享受国务院政府特殊津贴。

8、94年,智能高频新电检测仪山东省发明二等奖第2位。

9、96年,一种智能电度表专利号:ZL96228246.4第1发明人。

参考资料