异相反应是在不同相之间，通常是固体、液体或气体之间发生的物理化学反应。这一现象在薄膜的沉积生长中尤为显著，其中薄膜的形成是通过固态生长表面与被其吸附的气相产物之间的异相反应实现的。

分类及原理

化学气相沉积（CVD）

化学气相沉积是一种常见的薄膜沉积方法，它涉及将气态前驱体引入高温反应室，在基底表面上分解并沉积成薄膜。这个过程通常发生在高于材料熔点的温度下，因此需要使用高真空条件来防止氧化和其他杂质的污染。

物理气相沉积（PVD）

物理气相沉积则是另一种常用的薄膜沉积技术，它包括蒸发、溅射和离子束辅助沉积等多种工艺。这些方法都涉及到将源材料加热至气态，然后将其沉积在基底表面上形成薄膜。

均相反应与异相反应

均相反应

均相反应是指在单一固相、气相、液相中进行的化学反应，即在反应过程中与其他物相没有物质交换的反应。固体均相反应是指在单一的固相中结构组元发生的局域重排过程。例如在镍铝尖晶石NiAl2O4中，镍和铝离子分别占据氧离子构成的四面体和八面体格位。在温度变化时，镍和铝离子在两种格位上的分布可以发生变化。这种离子格位的重排反应可以利用镍离子的光谱变化测定。在均相反应中，不存在原子或离子的长程运动和组合物相的体积也不发生改变。材料的很多相变过程，特别是二级相变过程属于均相反应。

异相反应

异相反应则是在两相或者三相中进行的化学反应，即在反应过程中与其他物相具有物质交换的反应。例如：以酶免反应为例，一个抗体包被在聚苯乙烯微孔板上（为固相），而被检测的抗原在液体中（为液相），他们的反应是处于两个相中，称为异相反应。一般检测大分子用此法。如肝炎标志物，肿瘤标志物和自身抗体等。而抗原和抗体都是在液相中，所形成的反应体系为均相反应，一般检测小分子，如吗啡，器官移植中抗排异药物的检测等可用此法。

化学异相反应.百度文库.2024-11-27

简述异相反应过程.百度教育.2024-11-27

《Science》:我们都错了，异相反应只需一点点有机溶剂就够了!.网易.2024-11-27